德國Sentech Instruments GmbH 公司的所有產(chǎn)品，該公司位于德國*都柏林，是一家從事薄膜測量儀器和等離子體設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)的高科技公司。SENTECH公司生產(chǎn)的各種等離子體刻蝕、沉積設(shè)備具有高刻蝕率、低損傷、低溫、高均勻度、沉積速度快等特點(diǎn)，廣泛地用于半導(dǎo)體、微系統(tǒng)、有機(jī)薄膜等領(lǐng)域。

SENTECH公司致力于發(fā)展薄膜測量技術(shù)(光譜橢偏儀、激光橢偏儀、反射膜厚儀)和等離子加工技術(shù)(等離子刻蝕、沉積系統(tǒng)，定制解決方案)，**研發(fā)、制造、銷售相關(guān)儀器和設(shè)備。

激光橢偏儀SE 400advanced

多角度激光橢偏儀 SE400advanced使用632.8nm波長HeNe激光器，對測量薄膜厚度，折射率和吸收系數(shù)有非常出色的精度。 SE400advanced能夠分析單層膜，多層膜和大塊材料(基底)

• 超高精度和穩(wěn)定性，來源于高穩(wěn)定激光光源、溫度穩(wěn)定補(bǔ)償器設(shè)置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測器

• 高精度樣品校準(zhǔn)，使用光學(xué)自動(dòng)對準(zhǔn)鏡和顯微鏡

• 快速簡易測量，可選擇不同的應(yīng)用模型和入射角度

• 多角度測量，可完全支持復(fù)雜應(yīng)用和*準(zhǔn)厚度

• 全方面的預(yù)設(shè)應(yīng)用，包含微電子、光電、磁存儲(chǔ)、生命科學(xué)等領(lǐng)域

規(guī)格:

• 激光波長632.8 nm

• 150 mm (z-tilt) 載物臺(tái)

• 入射角度可調(diào)，步進(jìn)5º

• 自動(dòng)對準(zhǔn)鏡/顯微鏡，用于樣品校準(zhǔn)

• Small footprint

• 以太網(wǎng)接口連接到PC

SE 400advanced軟件特征:

• 預(yù)先定義應(yīng)用

• 多角度測量

• 廣泛的材料數(shù)據(jù)庫

• 擬合狀況的圖形反饋

• 支持多種語言

代表型號(hào)：SI500、SI500PPD、SE400advanced、SE500advanced、SE 900-50、SENDURO、SENresearch、Reflectometer RM、Etchlab200、SI100.....

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